千级无尘室 无尘室 清阳净化系统工程
(一)无尘车间物理式净化方式
1.吸附性过滤—活性炭
活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积,能与气体(杂质)充分接触,千级无尘室,从而赋予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样,无尘室,所有的分子之间都具有相互引力
缺点:普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体,效率较低、易脱附。
无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处,简易无尘室,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少至低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
无尘车间的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘车间:
⑴无尘车间的天花板系统
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵无尘车间的空调系统
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶无尘车间的隔墙板(Partitional wall)
包括窗户、门。
⑷无尘车间的地板
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸无尘车间的照明器具
包括日光灯、黄色灯管等。
⑹无尘车间之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
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