昆山清阳净化系统工程 千级无尘室 无尘室

净化技术的设备发展

　　美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。

GMP净化工程主要需要注意的方面有以下几点：

　　(3)设备

　　工厂的所有设备和用具的设计，采用的材料和制作工艺，应便于充分的清洗和适当的维护。这些设备和用具的设计、制造和使用，应能防止食品中掺杂污染源。接触食物的表面应耐腐蚀，它们应采用无1毒1的材料制成，无尘室设备，能经受侵蚀作用。接触食物的表面的接缝应平滑，千级无尘室，而且维护得当，无尘室，能尽量减少食物颗粒、脏物及有机物的堆积，无尘室施工，从而将微生物生长繁殖的机会降低到限度。食品加工、处理区域内不与食品接触的设备应结构合理，便于保持清洁卫生。食品的存放、输送和加工系统的设计结构应能使其保持良好的卫生状态。

电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求

　　（1）防静电地极接地电阻＜10Ω。

　　（2）防静电地面或地垫：表面电阻值105-109Ω，摩擦电压＜100V。

　　（3）防静电墙壁：电阻值5×104-109Ω。

　　（4）防静电工作台垫：表面电阻值105-109Ω；摩擦电压＜100V；对地系统电阻105-109Ω。

　　（5） 防静电工作椅面对脚轮电阻105-109Ω。

　　（6） 防静电工作服、帽、手套摩擦电压＜300V；鞋底摩擦电压＜100V。表面电阻值105-109Ω。

　　（7） 防静电腕带连接电缆电阻1MΩ；佩带腕带时系统电阻750KΩ-1O.5MΩ。脚跟带（鞋束）系统电阻105-108Ω。

　　（8）物流车台面对车轮系统电阻105-109Ω。

　　（9）料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具表面电阻值103-109Ω，摩擦电压＜100V。

　　（10）包装代、盒摩擦电压＜100V。

　　（11）人体综合电阻105-109Ω。

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