电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求

　　（1）防静电地极接地电阻＜10Ω。

　　（2）防静电地面或地垫：表面电阻值105-109Ω，摩擦电压＜100V。

　　（3）防静电墙壁：电阻值5×104-109Ω。

　　（4）防静电工作台垫：表面电阻值105-109Ω；摩擦电压＜100V；对地系统电阻105-109Ω。

　　（5） 防静电工作椅面对脚轮电阻105-109Ω。

　　（6） 防静电工作服、帽、手套摩擦电压＜300V；鞋底摩擦电压＜100V。表面电阻值105-109Ω。

　　（7） 防静电腕带连接电缆电阻1MΩ；佩带腕带时系统电阻750KΩ-1O.5MΩ。脚跟带（鞋束）系统电阻105-108Ω。

　　（8）物流车台面对车轮系统电阻105-109Ω。

　　（9）料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具表面电阻值103-109Ω，无菌洁净室，摩擦电压＜100V。

　　（10）包装代、盒摩擦电压＜100V。

　　（11）人体综合电阻105-109Ω。

净化工程注意事项需记牢：

　　7.无菌室运用前有必要翻开无菌室的紫外灯辐照灭菌30分钟以上，而且一起翻开超净台进行吹风。操作结束，应及时整理无菌室，再用紫外灯辐照灭菌20分钟。

　　8.供试品在查看前，应坚持外包装完好，不得敞开，以防污染。查看前，用70%的酒精棉球消毒外外表。

　　9.凡带有活菌的物品，洁净室，须经消毒后，才能在水龙头下冲刷，禁止污染下水道。

净化技术的设备发展

　　美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，洁净室工程，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，洁净室报价，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。

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