利用普通空调机直接向空气主流区送冷风改造无尘车间的原理图.无尘车间建立在旧厂房内，房间高度为3m，无尘车间壁采用夹芯彩钢板构筑，高约2.4m，洁净室工程，无尘车间顶部为风机室，高约0.6 m，其中装有风机箱。风机室的四周全部封闭，设有向内通风的中效过滤进风口。风机装在风机箱内，其下部是静压箱和高1效过滤器。无尘车间的下侧没有回风初过滤器，无尘车间的外侧是回风夹道，回风夹道相互连通，其中至少有一个分体式分体空调机。空调机可先用普通柜式分体空调机，其出风口装有导流罩和冷风管，冷风管另一端装在风机室内。一般情况下普通空调的送风机可将冷风送到15 m以外，基本能满足一般中小型无尘车间的使用，当送风距离较远时，可在冷风管上加装风机以增加送风压力。

无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响无尘车间的气流因素很多，如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，洁净室设备，应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

无尘车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少至低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

      高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。

   《洁净室施工及验收规范》（下简称规范）第 3.4.4条，有“经检查和检漏合格的应立即安装”，指现场检漏合格以后，再安装高1效过滤器，洁净室，事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到，而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。

    检漏时，百级洁净室，从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏高1效过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。

    这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏，只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。

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